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當前位置:首頁產(chǎn)品中心低溫和探針臺液氮高低溫探針臺PSM-4K系列閉循環(huán)低溫探針臺

PSM-4K系列閉循環(huán)低溫探針臺

產(chǎn)品簡介

PSM-4K系列低溫探針臺是一款閉循環(huán)低溫探針臺,緊湊型及低振動的設計,能夠為半導體芯片的電學參數(shù)測試提供一個<5K-350K高低溫真空測試環(huán)境,通過外接不同的電學測量儀器,可完成材料/器件的IV、CV、光學以及微波等參數(shù)檢測,實現(xiàn)低溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學測試。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-08-02
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:110
詳細介紹在線留言

產(chǎn)品概述

4K閉循環(huán)低溫探針臺在科學研究和技術(shù)開發(fā)中發(fā)揮著至關重要的作用。它能夠在低溫環(huán)境下對樣品進行各種非破壞性的物理性能和電學性能測試,幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學性能,從而為新材料的研發(fā)和應用提供重要的數(shù)據(jù)支持。

PSM-4K系列低溫探針臺是的一款性能超好的閉循環(huán)低溫探針臺,其緊湊型以及低振動的設計,能夠為半導體芯片的電學參數(shù)測試提供一個<5K-350K高低溫真空測試環(huán)境。采用閉循環(huán)制冷,無需消耗液氦,溫度4.5K。

特點
• 采用閉循環(huán)制冷,無需消耗液氦,溫度4.5K。
• 探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作,可以在不破壞真空 的情況下,切換樣品上的不同器件進行測試。
特別的探針臂 X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié),能滿足4英寸樣品的測試。
• 真空腔材質(zhì)為鋁制材料,能夠有效減小外界的電磁干擾,提高測試的精準度和穩(wěn)定性。
• 探針臂采用三同軸接頭,漏電性能好,實測漏電流小于100fA @1V@4.5K-350K。
• 測試溫度范圍寬,支持4.5K-350K連續(xù)變溫。
特別設計的柔性探針,將探針安裝到銅制彈片上,避免扎針過程中力量過大導致樣品或電極損壞。

技術(shù)參數(shù)

參數(shù)和指標:

探針臺主機分類
型號PSM-4K-2 PSM-4K-4
溫度范圍4.5K–350K4.5K–350K
控溫穩(wěn)定性+/-50mK
振動<1μm
樣品座
類型及材料無氧銅接地鍍金樣品座
尺寸2寸4寸
可選規(guī)格
絕緣樣品座 (溫度只能到350K)
同軸樣品座 (溫度只能到350K)
 三同軸樣品座(溫度只能到350K)
探針臂
類型直流探針臂
數(shù)量4
接頭及電纜三同軸接頭+極細同軸低溫電纜
漏電流100fA@1V 真空環(huán)境中
信號頻率DC–50MHz
匹配阻抗50歐姆
位移范圍X+/- 35mm,Y+/- 12.5m
Z +/-6.5m R+/-10°
X+/- 50mm,Y+/- 12.5m
Z +/-6.5m R+/-10°
光學系統(tǒng)
顯微鏡放大倍數(shù)10–180倍
分辨率3微米
視場22mm
工作距離90–100mm
真空腔
材料鋁合金
腔體容積9L12L
整體尺寸900*900*600900*900*600
腔體內(nèi)徑 280mm 280mm
視窗尺寸 50mm 100mm
真空腔體窗口標準石英窗口
防輻射屏窗口 紅外吸收窗口
真空度 5E-4 torr
預留接口2個探針臂接口&2個電學接口
防輻射屏材料不銹鋼
冷卻時間120分鐘到5K150分鐘到5K
冷源 GM制冷機
專用振動隔離桌
 尺寸800*800*800900*900*800
桌推 固定腳&滾輪


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