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當前位置:首頁產(chǎn)品中心低溫和探針臺液氮高低溫探針臺PSM-LN2 系列液氮高低溫探針臺

PSM-LN2 系列液氮高低溫探針臺

產(chǎn)品簡介

PSM-LN2系列液氮高低溫探針臺能夠為半導體芯片的電學參數(shù)測試提供一個80K-800K高低溫真空測試環(huán)境,通過外接不同的電學測量儀器,可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測,用于低溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學測試。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-08-02
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:117
詳細介紹在線留言

產(chǎn)品概述

液氮高低溫探針臺在科學研究和技術(shù)開發(fā)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠在低溫環(huán)境下對樣品進行各種非破壞性的物理性能和電學性能測試,幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學性能,從而為新材料的研發(fā)和應(yīng)用提供重要的數(shù)據(jù)支持。

PSM-LN2系列液氮高低溫探針臺能夠為半導體芯片的電學參數(shù)測試提供一個80K-800K高低溫真空測試環(huán)境,通過外接不同的電學測量儀器,可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測,用于低溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電測試。

特點
• 液氮高低溫真空探針臺,15分鐘內(nèi)腔體真空度可達到 10E-4torr,液氮消耗量小,降到溫度只需0.2L液氮,使用方便快捷同時兼顧經(jīng)濟性。
• 探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作,可以在不破壞真空 的情況下,切換樣品上的不同器件進行測試。
• 特別的探針臂 X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié),能滿足4英寸樣品的測試。
• 真空腔材質(zhì)為鋁制材料,能夠有效減小外界的電磁干擾,提高測試的精準度和穩(wěn)定性
• 探針臂采用三同軸接頭,漏電性能好,實測漏電流小于100fA @1V@80K–800K
• 測試溫度范圍寬,支持80K-800K連續(xù)變溫。
• 特別設(shè)計的柔性探針,將探針安裝到銅制彈片上,避免扎針過程中力量過大導致樣品或電極損壞
• 上蓋采用翻蓋結(jié)構(gòu),換樣更便捷。

技術(shù)參數(shù)

參數(shù)和指標:

探針臺主機分類
型號PSM-LN2-2PSM-LN2-2HPSM-LN2-4PSM-LN2-4H
溫度范圍80K–500K80K–800K80K–500K80K–800K
控溫穩(wěn)定性+/-50mK+/-100mk+/-50mK+/-100mk
樣品座
類型及材料無氧銅接地鍍金樣品座無氧銅接地樣品座無氧銅接地樣品座無氧銅接地樣品座
尺寸2寸2寸4寸4寸
可選規(guī)格絕緣樣品座 (溫度只能到400K)
同軸樣品座 (溫度只能到400K)
三同軸樣品座(溫度只能到400K)
探針臂
類型直流探針臂
數(shù)量4
接頭及電纜三同軸接頭+極細同軸低溫電纜
漏電流100fA@1V 真空環(huán)境中
信號頻率 DC–50MHz
匹配阻抗50歐姆
位移范圍Z +/-6.5m R+/-10°
X+/- 50mm,Y+/- 12.5m
X+/- 35mm,Y+/- 12.5m
Z +/-6.5m R+/-10°
光學系統(tǒng)
顯微鏡放大倍數(shù) 10–180倍
分辨率3微米
視場22mm
工作距離 90–100mm
真空腔
材料鋁合金
腔體容積 4L 5.5L
整體尺寸800*800*600900*900*600
腔體內(nèi)徑 124mm155mm
視窗尺寸 50mm 100mm
真空腔體窗口紅外吸收窗口
防輻射屏窗口N/A標準石英窗口                 N/A標準石英窗口
真空度 5*10E-4 torr
預(yù)留接口2個探針臂接口&2個電學接口
防輻射屏材料                  N/A不銹鋼                  N/A不銹鋼
液氮腔體
液氮容量 0.5L
冷卻時間60分鐘到80K 80分鐘到80K
液氮消耗量0.2L從室溫到80K0.3L從室溫到80K
液氮保持時間 4小時@80K 3小時@80K
專用振動隔離桌
尺寸 800*800*800 900*900*800
桌推 固定腳&滾輪


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